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首頁 - 應(yīng)用案例 - 半導(dǎo)體&光伏 - MOCVD晶圓倒片機上下料
MOCVD晶圓倒片機上下料
  • 工藝應(yīng)用

    -MOCVD晶圓倒片上下料

  • 機器人型號

    -GBT-P7A-700  （了解更多）

  • 系統(tǒng)組成

    -兩臺四軸機器人和一臺六軸機器人銜接前道設(shè)備對加工完成的晶圓和未加工的晶圓進(jìn)行一個上下料的工藝。

  • 客戶所得經(jīng)濟效益

    -減少成本，提高產(chǎn)能和效率 

    -保證節(jié)約人力成本，生產(chǎn)穩(wěn)定性

  • 關(guān)鍵技術(shù)

    -機器人通過國家潔凈等級的認(rèn)證，可在無塵環(huán)境中使用。 

    -機器人配備高速I/O, 實現(xiàn)對圓晶Mapping檢測 

    -高穩(wěn)定性保證取放晶圓和料盤無擦碰

  • 競爭優(yōu)勢

    -晶圓定位精度：±0.05mm、±0.1° 

    -上下片節(jié)拍：425pcs/h 

    -機器人重復(fù)定位精度高（重復(fù)定位精度：0.02mm)，可確保晶圓上下片無碰傷 

    -高速搬運無抖動，可實現(xiàn)晶圓高速上下料 -良品率：≥99.9%

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